设计简介
本文主要介绍晶圆测试的发展状况，晶圆测试送进装置结构设计原理，晶圆测试送进装置总体方案分析及确定，晶圆测试送进装置结构设计内容所包含的机械图纸的绘制，送进装置的计算，送进装置的结构设计结论与建议。
整机结构主要由电动机产生动力通过联轴器将需要的动力传递到带轮上，带轮带动导轨滑靴，从而带动整机装置运动送进装置可以代替人手的繁重劳动，显著减轻工人的劳动强度，改善劳动条件，提高劳动生产率和生产自动化水平。工业生产中经常出现的笨重工件的搬运和长期、频繁、单调的操作，采用送进装置是有效的；此外，它能在高温、低温、深水、宇宙、放射性和其它有毒、污染环境条件下进行操作，更显示其优越性，有着广阔的发展前途。
本论文研究内容：
(1) 晶圆测试送进装置总体结构设计。
(2) 晶圆测试送进装置工作性能分析。
(3)电动机的选择。
(4) 晶圆测试送进装置的传动系统、执行部件及机架设计。
(5)对设计零件进行设计计算分析和校核。
(6)运用计算机辅助设计，对设计的零件进行三维建模。
(7)绘制整机装配图及重要部件装配图和设计零件的零件图。
关键词： 晶圆测试送进装置，结构设计，三维建模；步进电机
Abstract
This paper introduces the development situation of testing a wafer, wafer test feeding device structure design principle, wafer test to analysis and determine the overall plan arrangement, drawing the mechanical drawings wafer test to design device structure includes the calculation of the feeding device, the structure design, the conclusions and recommendations to the device.
The structure is mainly produced by the motor power through the coupling will need to transfer the power to the belt wheel, belt wheel drives the guide slipper, heavy labor movement device to drive the feeding device can replace the manual, greatly reduce the labor intensity of workers, improve working conditions, improve labor productivity and automation level of production. Industrial production in the often cumbersome workpiece handling and frequent, the long, monotonous operation, the feeding device is effective; in addition, it can operate in high temperature, low temperature, water, the universe, radioactive and other toxic, environmental pollution condition, more show its superiority, there are broad prospects for the development.
The research of this thesis:
(1) testing to the general structure design of equipment.
(2) analysis device performance testing to.
(3) the choice of motor.
(4) transmission system, execution unit and a wafer test feeding device.
(5) the design of components for the design calculation and check.
(6) the use of computer aided design, 3D modeling on Design of parts.
(7) to draw the assembly drawing and parts assembly diagram and parts diagram design.
Keywords ：wafer test feeding device, structure design, 3D modeling; stepping motor
目 录
1 绪 论 1
1.1 送进装置的特点 1
1.2 送进装置的组成 2
1.2.1 执行机构 2
1.2.2 驱动机构 2
1.2.3 控制机构 2
1.3 本文研究主要内容 3
2 晶圆测试送进装置机构总体方案设计 4
2.1 送进装置的基本技术参数确定 4
2.1.1 规格参数 4
2.1.2 有效负载 4
2.1.3 运动特性 4
2.1.4 工作范围（工作半径） 5
2.2 送进装置材料的选择 5
2.3 机械的运动方式 5
2.4 送进装置的驱动元件 6
2.5 机构整体设计 7
3 晶圆测试系统送进装置的机械计算 8
3.1 电机的选取 8
3.2 同步带的概述及计算 10
3.2.1 同步带介绍 10
3.2.2 同步带的特点 11
3.2.3 同步带传动的主要失效形式 12
3.2.4 同步带传动的设计准则 14
3.2.5 同步带分类 14
3.2.6 同步带计算选型 15
3.2.7 同步带的主要参数（结构部分） 18
3.2.8 同步带的设计 20
3.2.9 同步带轮的设计 20
3.3 轴的设计 21
3.4 轴的校核 21
3.5 键的校核 22
3.6 轴承的校核 23
3.7 直线滚动导轨副的计算、选择 24
3.8 横梁的强度与刚度的计算 26
总 结 31
致 谢 32
参考文献 33
整机结构主要由电动机产生动力通过联轴器将需要的动力传递到带轮上，带轮带动导轨滑靴，从而带动整机装置运动送进装置可以代替人手的繁重劳动，显著减轻工人的劳动强度，改善劳动条件，提高劳动生产率和生产自动化水平。工业生产中经常出现的笨重工件的搬运和长期、频繁、单调的操作，采用送进装置是有效的；此外，它能在高温、低温、深水、宇宙、放射性和其它有毒、污染环境条件下进行操作，更显示其优越性，有着广阔的发展前途。
本论文研究内容：
(1) 晶圆测试送进装置总体结构设计。
(2) 晶圆测试送进装置工作性能分析。
(3)电动机的选择。
(4) 晶圆测试送进装置的传动系统、执行部件及机架设计。
(5)对设计零件进行设计计算分析和校核。
(6)运用计算机辅助设计，对设计的零件进行三维建模。
(7)绘制整机装配图及重要部件装配图和设计零件的零件图。
关键词： 晶圆测试送进装置，结构设计，三维建模；步进电机
Abstract
This paper introduces the development situation of testing a wafer, wafer test feeding device structure design principle, wafer test to analysis and determine the overall plan arrangement, drawing the mechanical drawings wafer test to design device structure includes the calculation of the feeding device, the structure design, the conclusions and recommendations to the device.
The structure is mainly produced by the motor power through the coupling will need to transfer the power to the belt wheel, belt wheel drives the guide slipper, heavy labor movement device to drive the feeding device can replace the manual, greatly reduce the labor intensity of workers, improve working conditions, improve labor productivity and automation level of production. Industrial production in the often cumbersome workpiece handling and frequent, the long, monotonous operation, the feeding device is effective; in addition, it can operate in high temperature, low temperature, water, the universe, radioactive and other toxic, environmental pollution condition, more show its superiority, there are broad prospects for the development.
The research of this thesis:
(1) testing to the general structure design of equipment.
(2) analysis device performance testing to.
(3) the choice of motor.
(4) transmission system, execution unit and a wafer test feeding device.
(5) the design of components for the design calculation and check.
(6) the use of computer aided design, 3D modeling on Design of parts.
(7) to draw the assembly drawing and parts assembly diagram and parts diagram design.
Keywords ：wafer test feeding device, structure design, 3D modeling; stepping motor
目 录
1 绪 论 1
1.1 送进装置的特点 1
1.2 送进装置的组成 2
1.2.1 执行机构 2
1.2.2 驱动机构 2
1.2.3 控制机构 2
1.3 本文研究主要内容 3
2 晶圆测试送进装置机构总体方案设计 4
2.1 送进装置的基本技术参数确定 4
2.1.1 规格参数 4
2.1.2 有效负载 4
2.1.3 运动特性 4
2.1.4 工作范围（工作半径） 5
2.2 送进装置材料的选择 5
2.3 机械的运动方式 5
2.4 送进装置的驱动元件 6
2.5 机构整体设计 7
3 晶圆测试系统送进装置的机械计算 8
3.1 电机的选取 8
3.2 同步带的概述及计算 10
3.2.1 同步带介绍 10
3.2.2 同步带的特点 11
3.2.3 同步带传动的主要失效形式 12
3.2.4 同步带传动的设计准则 14
3.2.5 同步带分类 14
3.2.6 同步带计算选型 15
3.2.7 同步带的主要参数（结构部分） 18
3.2.8 同步带的设计 20
3.2.9 同步带轮的设计 20
3.3 轴的设计 21
3.4 轴的校核 21
3.5 键的校核 22
3.6 轴承的校核 23
3.7 直线滚动导轨副的计算、选择 24
3.8 横梁的强度与刚度的计算 26
总 结 31
致 谢 32
参考文献 33
